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陶瓷电容式压力变送器及制作工艺

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN95110574.4
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1995-07-28
  • 申请人:
    山东三鑫科技(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称陶瓷电容式压力变送器及制作工艺
申请号CN95110574.4申请日期1995-07-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日1997-02-05公开/公告号CN1142049
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人山东三鑫科技(集团)股份有限公司申请人地址
山东省烟台市开发区科技大厦8楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东三鑫科技(集团)股份有限公司当前权利人山东三鑫科技(集团)股份有限公司
发明人孙祖彩;罗挺前;刘居胜
代理机构烟台市专利事务所代理人梁翠荣
摘要
本发明涉及的是一种陶瓷电容式压力变送器及制作工艺,是由陶瓷电容式压力传感器与厚膜集成混合电路组成,在陶瓷基座2的A-A表面设电容极板6,电容极板8,在陶瓷膜片11的B-B表面设电容极板10,在电容极板10与8、6间设圆环台阶1,厚膜集成混合电路由集成电路芯片IC和电阻电容采用厚膜电路技术集成固化在陶瓷基片4上,然后粘结在陶瓷基座2的上表面,本发明是电容式压力变送器的换代产品,是目前较为理想的压力、液位测量装置。

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