一种陶瓷电容式压力传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201210398251.0
IPC分类号：G01L1/14
申请日期：
2012-10-12
申请人：
深圳市安培盛科技有限公司

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专利名称	一种陶瓷电容式压力传感器
申请号	CN201210398251.0	申请日期	2012-10-12
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-02-13	公开/公告号	CN102928133A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/14 通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;4查看分类表>
申请人	深圳市安培盛科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区平湖街道平湖社区富民工业区富康路43号65号厂房二至四楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳安培龙科技股份有限公司	当前权利人	深圳安培龙科技股份有限公司
发明人	邬若军
代理机构	深圳市精英专利事务所	代理人	暂无

摘要

一种陶瓷电容式压力传感器，涉及静电电容式压力传感器及其制造工艺。目前，静电电容式压力传感器是在两片陶瓷基板的表面分别设置平板电极，使两电极隔开一个微小的间隙平行相对，并将两片平行陶瓷基板固定为一体，构成一个平板电容器，通过测试压力下电容的变化，检测出压力的大小。极板间的距离决定电容的大小，从而影响压力检测的精度，因此必须精确控制电极间距离。本发明在两平板之间放置环状的低温共烧陶瓷生片(LTCC)，然后将三者叠在一起，用夹具夹紧，在一定温度下烧结为一体，保证了极板间的精确距离和压力检测精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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