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陶瓷压力传感器及其生产方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201380016154.3
  • IPC分类号:G01L9/00;G01L19/04;G01L19/06
  • 申请日期:
    2013-03-20
  • 申请人:
    麦克罗特尔电子技术股份公司
著录项信息
专利名称陶瓷压力传感器及其生产方法
申请号CN201380016154.3申请日期2013-03-20
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-12-24公开/公告号CN104246462A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L9/00IPC分类号G;0;1;L;9;/;0;0;;;G;0;1;L;1;9;/;0;4;;;G;0;1;L;1;9;/;0;6查看分类表>
申请人麦克罗特尔电子技术股份公司申请人地址
意大利米兰 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科莱特微电股份公司当前权利人科莱特微电股份公司
发明人阿西尔·科利亚蒂;罗伯托·马伊;彼得罗·雷戈廖西;安吉洛·马里奥·阿达莫·阿尔伯尼科
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人杨生平;钟锦舜
摘要
一种生产压力传感器(130)的方法,该压力传感器(130)包括由陶瓷材料制成的平坦柔性膜(100)以及由陶瓷材料制成的该平坦柔性膜(100)的平坦刚性支撑件(110),该方法包括以下步骤:‑在该膜(100)上实现电路(16,18);‑在该支撑件(110)上实现与外侧的电接触;‑将导电材料沉积在该支撑件(110)上;‑实现该膜(100)和该支撑件(110)之间的电耦合和机械耦接;通过至少一个导电可烧结电连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的电耦合,通过至少一个可烧结机械连接材料层的沉积和烧结来执行膜(100)和支撑件(110)之间的机械耦接,该可烧结机械连接材料是与该可烧结电连接材料层电绝缘的和/或隔离的,在烧结熔炉中该可烧结电连接材料层和该可烧结机械连接材料层在单个步骤中一起经历回流。

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