厚膜压力传感器及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110453946.X
IPC分类号：G01L1/18
申请日期：
2011-12-30
申请人：
郑州炜盛电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	厚膜压力传感器及其制作方法
申请号	CN201110453946.X	申请日期	2011-12-30
法律状态	驳回	申报国家	暂无
公开/公告日	2012-05-02	公开/公告号	CN102435358A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/18 利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;8查看分类表>
申请人	郑州炜盛电子科技有限公司	申请人地址	河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	郑州炜盛电子科技有限公司	当前权利人	郑州炜盛电子科技有限公司
发明人	张小水;祁明锋;高胜国;郑建民
代理机构	郑州红元帅专利代理事务所（普通合伙）	代理人	黄军委

摘要

本发明提供一种厚膜压力传感器及其制作方法，该传感器包括陶瓷基座、导电带、四个厚膜应变电阻、两个补偿电阻和玻璃保护膜，厚膜应变电阻采用厚膜印刷方式印刷在陶瓷基座的弹性膜片上，补偿电阻采用厚膜印刷方式印刷在陶瓷基座上。该方法包括：选取陶瓷基座、印刷导电带；采用厚膜印刷方式，在陶瓷基座的弹性膜片上印刷厚膜应变电阻，在陶瓷基座上印刷补偿电阻；在陶瓷基座上印刷玻璃保护膜，制得传感器；在不同温度下对传感器进行加载试验，并通过激光调阻机对补偿电阻调阻，直至达到补偿电阻的阻值设计要求即可。该传感器具有零点及灵敏度漂移小、性能稳定可靠、适应环境能力强的优点，该方法具有工艺设计科学、易于实现的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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