基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510356527.2
IPC分类号：B22F3/105;B28D1/00;B33Y10/00
申请日期：
2015-06-25
申请人：
武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司

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专利名称	基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法
申请号	CN201510356527.2	申请日期	2015-06-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-09-30	公开/公告号	CN104942288A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B22F3/105 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B22 铸造；粉末冶金 B22F 金属粉末的加工；由金属粉末制造制品；金属粉末的制造（用粉末冶金法制造合金入C22C；）；金属粉末的专用装置或设备 B22F3/00 由金属粉末制造工件或制品，其特点为用压实或烧结的方法；所用的专用设备 B22F3/10 仅烧结 B22F3/105 利用电流、激光辐射或等离子体（B22F 3/11优先）〔6〕	IPC分类号	B;2;2;F;3;/;1;0;5;;;B;2;8;D;1;/;0;0;;;B;3;3;Y;1;0;/;0;0查看分类表>
申请人	武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司	申请人地址	湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司	当前权利人	武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司
发明人	刘胜;付兴铭;曹钢;严晗;刘亦杰;郑怀;王小平;杨军
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	胡艳

摘要

本发明公开了一种基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的电容式厚膜压力传感器制备方法，包括：首先，根据压力传感器各层的精度要求，选择纳秒、皮秒或飞秒激光作为原始激光进行扫描烧结熔化。然后，根据实时监测反馈选择对特定区域使用皮秒或飞秒激光进行精加工。根据压力传感器加工的实际需要，实时监测可以为尺寸检测、晶相结构检测、微观形貌检测、成分检测等。本发明可实现更精确的尺寸控制和电阻阻值控制，包括电极间距、电极尺寸等，省去了传统3D打印完成后所需的清理、抛光等工序，有效解决了吹粉、残余应力高、强度低等问题。

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