一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810150464.5
IPC分类号：G03F7/00;B23K26/00;B23K26/04;B23K26/08
申请日期：
2008-07-25
申请人：
西安交通大学

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专利名称	一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法
申请号	CN200810150464.5	申请日期	2008-07-25
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-12-24	公开/公告号	CN101329508
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;4;;;B;2;3;K;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	陈烽;杨青;刘贺炜;司金海;侯洵
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	陈翠兰

摘要

本发明公开了一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，该方法将适合制作微纳压印模具的硬质材料固定在三维精密平移台上，利用显微物镜将一束飞秒激光聚焦在样品表面，根据微纳结构与器件压印模斑的结构设计，通过飞秒激光刻蚀和三维精密移动平台的配合运动对材料进行微纳加工，实现微纳压印模版的制备。该发明将飞秒激光微纳加工技术同成熟的压印成型技术结合，可以批量制备出复杂及三维的微纳结构与器件，大大提高了微纳结构与器件的制备效率，促进了微纳压印技术与飞秒激光微纳加工技术的发展。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102785025A	2012-06-21	2012-06-21	利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法有效专利	西安交通大学
2	CN103862167A	2014-03-18	2014-03-18	一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置无效专利	西安交通大学
3	CN102029317A	2010-10-12	2010-10-12	一种激光直接复合微塑性成形装置与方法失效专利	江苏大学
4	CN102757014B	2012-06-21	2012-06-21	一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法有效专利	西安交通大学
5	CN103071930B	2013-01-09	2013-01-09	一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法失效专利	南开大学
6	CN102757014A	2012-06-21	2012-06-21	一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法有效专利	西安交通大学
7	CN103071930A	2013-01-09	2013-01-09	一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法失效专利	南开大学
8	CN105921887A	2016-05-25	2016-05-25	一种基于超快激光制造三维结构电池的装置和方法有效专利	武汉虹拓新技术有限责任公司
9	CN101819927A	2010-04-13	2010-04-13	一种微纳结构硅材料的制备系统与制备方法失效专利	上海理工大学
10	CN102029317B	2010-10-12	2010-10-12	一种激光直接复合微塑性成形装置与方法失效专利	江苏大学
11	CN107116308A	2017-05-03	2017-05-03	波导微纳加工系统以及加工方法有效专利	湖北工业大学

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