波导微纳加工系统以及加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710305485.9
IPC分类号：B23K26/364;B23K26/04;B23K26/70
申请日期：
2017-05-03
申请人：
湖北工业大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	波导微纳加工系统以及加工方法
申请号	CN201710305485.9	申请日期	2017-05-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-01	公开/公告号	CN107116308A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/364 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/362 激光刻蚀〔2014.01〕 B23K26/364 用于制造槽或沟的，例如刻出一个断开的起始槽〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;0;4;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0查看分类表>
申请人	湖北工业大学	申请人地址	湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖北工业大学	当前权利人	湖北工业大学
发明人	陶青;刘顿;王珏;陈列;娄德元;杨奇彪;彼得·贝内特;翟中生;郑重
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	俞琳娟

摘要

本发明提供一种加工成本低、精度高、一致性好的波导微纳加工系统以及加工方法。本发明所涉及的波导微纳加工系统，其特征在于，包括光源部，提供激光束；加工部，将激光束聚焦至基底上进行光刻加工，并对加工过程进行实时监测，具有可变焦透镜、三维形貌仪、相机、以及测温仪；多自由度工作台，根据预设的波导图案带动基底在多个自由度方向上进行移动；光学平台，用于安放多自由度工作台，并隔绝外界振动；吹气部，设置在多自由度工作台的一侧，对着加工区域进行吹气；吸气部，设置在多自由度工作台的另一侧，对吹气部吹送来的气体进行吸除；控制部，连接并控制光源部、加工部、多自由度工作台、光学平台、吹气部、以及吸气部的运行。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供