一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310007951.7
IPC分类号：B23K26/064;B23K26/362
申请日期：
2013-01-09
申请人：
南开大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法
申请号	CN201310007951.7	申请日期	2013-01-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-01	公开/公告号	CN103071930A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/064 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/02 工件的定位和观测，如相对于冲击点，激光束的对正，瞄准或聚焦〔3，2014.01〕 B23K26/06 激光束的成形，例如，利用掩膜或多次聚焦〔3，2014.01〕 B23K26/064 通过光学元件装置的，例如透镜，反射镜，棱镜〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;0;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2查看分类表>
申请人	南开大学	申请人地址	天津市南开区卫津路94号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南开大学	当前权利人	南开大学
发明人	李勇男;娄凯;钱升霞;涂成厚;王慧田
代理机构	天津佳盟知识产权代理有限公司	代理人	侯力

摘要

一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统及方法。系统包括飞秒矢量光场产生系统、空间滤波组件、计算机和三维移动平台；在飞秒激光系器输出直线光路上，依次设置1/2波片、格兰激光棱镜、扩束镜和飞秒矢量光场产生系统：经加载全息相位板的反射式纯相位空间光调制器后的光路上设置4f系统，频谱面上设置空间滤波器，经空间滤波器透过的正负一级衍射光分别通过一1/4波片，并经Rochi光栅合成为一束激光。经空间滤波组件、电子光阑、聚焦透镜和三维移动平台将材料调节至焦点位置，其中空间光调制器、电子光阑和三维移动平台通过数据线与计算机连接。本装置结构简单，便于操作，可以制备多种图案的微孔阵列，提高加工效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供