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一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310007951.7
  • IPC分类号:B23K26/064B23K26/362
  • 申请日期:
    2013-01-09
  • 申请人:
    南开大学
著录项信息
专利名称一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统与方法
申请号CN201310007951.7申请日期2013-01-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-05-01公开/公告号CN103071930A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/064IPC分类号B23K26/064;B23K26/362查看分类表>
申请人南开大学申请人地址
天津市南开区卫津路*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南开大学当前权利人南开大学
发明人李勇男;娄凯;钱升霞;涂成厚;王慧田
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司代理人侯力
摘要
一种飞秒激光直写制备微孔阵列的系统及方法。系统包括飞秒矢量光场产生系统、空间滤波组件、计算机和三维移动平台;在飞秒激光系器输出直线光路上,依次设置1/2波片、格兰激光棱镜、扩束镜和飞秒矢量光场产生系统:经加载全息相位板的反射式纯相位空间光调制器后的光路上设置4f系统,频谱面上设置空间滤波器,经空间滤波器透过的正负一级衍射光分别通过一1/4波片,并经Rochi光栅合成为一束激光。经空间滤波组件、电子光阑、聚焦透镜和三维移动平台将材料调节至焦点位置,其中空间光调制器、电子光阑和三维移动平台通过数据线与计算机连接。本装置结构简单,便于操作,可以制备多种图案的微孔阵列,提高加工效率。

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