集成超声换能器的AFM探针阵列

发明专利有效专利

申请号：
CN201510388664.4
IPC分类号：G01Q60/38;G01N29/06
申请日期：
2015-07-06
申请人：
中国科学院半导体研究所

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著录项信息

专利名称	集成超声换能器的AFM探针阵列
申请号	CN201510388664.4	申请日期	2015-07-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-10-07	公开/公告号	CN104965105A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/38 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕 G01Q60/38 探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;3;8;;;G;0;1;N;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院半导体研究所	申请人地址	北京市海淀区清华东路甲35号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院半导体研究所	当前权利人	中国科学院半导体研究所
发明人	何欢;张金英;杨晋玲;杨富华
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	任岩

摘要

一种集成超声换能器的AFM探针阵列，包括：一基座，该基座为矩形；多个微悬臂梁，其分别与基座的一侧边连接，每一微悬臂梁上制作有针尖；多个超声换能器，其分别制作在多个微悬臂梁的背面及或基座的背面；其中多个微悬臂梁和多个超声换能器组成探针阵列。本发明是在探针上集成超声换能器解决了样品的内部成像问题，且阵列式的探针结构提高了成像速度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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