MEMS高温压力传感器自动键合机

1、一种MEMS高温压力传感器自动键合机，它包括台面，在台面上 设置物流台、操作手、加热炉和显微镜，其特征是：操作手安装在由4 个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2 自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动 调焦工作台上。
2、根据权利要求1所述的MEMS高温压力传感器自动键合机，其特 征是：所述的显微镜是倍数可变的显微镜。

(一)技术领域\n本发明涉及的是一种传感器的加工机械，具体地说是一种传感器静 电键合的加工机械。\n(二)背景技术\n硅-玻璃静电键合技术广泛应用在压力传感器的制造上，在MEMS和 IC制造领域有着重要地位。同时也是MEMS高温压力传感器制造过程中 的重要工艺流程。MEMS高温压力传感器的键合时，不论是正面敏感还是 反面敏感。敏感电路中心须和导压孔中心对准。但是，目前在MEMS高温 压力传感器的静电键合操作采用手工作业。和自动阳极键合技术相比， 目前的手工键合作业有以下的不足和缺陷：1、对准精度低，芯片敏感电 路中心和和玻璃基导压孔不能精确对准，尤其是在反面敏感传感器键合 时，影响传感器的性能。2、一致性差，手工作业导致传感器性能的一致 性差。3、效率低，限制了MEMS高温压力传感器的批量制造。\n(三)发明内容\n本发明的目的在于提供一种能够提高MEMS高温压力传感器的硅-玻 璃阳极键合工艺过程中的高精度对准，提高产品质量，同时提高生产效 率的MEMS高温压力传感器自动键合机。\n本发明的目的是这样实现的：它包括台面，在台面上设置物流台、 操作手、加热炉和显微镜，操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作 手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显 微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。\n本发明以下优点：1、基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现 了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；2、融 合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；3、 设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。本发 明的MEMS高温压力传感器自动键合机的结构紧凑，操作空间大、对准精 度高、分辨率高。与其他测试方法及设备相比，具有更大的通用性和准 确性，具有很高的实用价值。\n(四)附图说明\n图1是本发明的结构示意图；\n图2是本发明的主视图；\n图3是图1的俯视图；\n图4是图1的左视图。\n(五)具体实施方式\n下面结合附图举例对本发明作更详细的描述：\nMEMS高温压力传感器自动键合机的组成包括台面1，在台面上设置 物流台2、操作手3、加热炉4和显微镜5。操作手安装在由X轴6、Y 轴7、Z轴8和W轴9控制的，可在X、Y、Z和W4个方面精确运动4自 由度操作手工作台上。4自由度操作手工作台上用于控制操作手的定位 运动，实现芯片、玻璃基以及键合后的成品的抓取和搬运；加热炉安装 在由轴10和轴11控制的，可在X、Y两个方面精确运动的2自由度定位 工作台上。2自由度定位工作台用于控制加热炉沿X、Y两个方面精确运 动以及在图像视觉的辅助下实现硅片和玻璃基的自动对准；显微镜安装 在可Y方向精确运动的带轴11的显微镜自动调焦工作台上。其中所述的 显微镜是倍数可变的显微镜。显微镜自动调焦工作台用于控制倍数可变 的显微镜，从而构成一个变焦距显微视觉系统。\n下面对本发明的工作过程作进一步描述：\n1、芯片和基体经过超声波清洗后，分别放置到承载盘中，放置到物 流台上，加热炉加温到420℃；\n2、系统初始化，启动操作手，旋转到物流台上方，在微力传感的控 制下，无损抓取传感器芯片；\n3、移动定位工作台，使得具有3个加热点的加热炉的第1加热点位 于显微镜视场中心。旋转操作手，搬运芯片于显微镜下，在微力传感的 控制下放置到第1加热点处；\n4、在显微视觉的伺服控制下，通过图像处理和识别，控制定位工作 台移动，使得芯片敏感电路的中心位于视场中心；\n5、旋转到物流台上方，在微力传感的控制下，无损抓取玻璃基片；\n6、旋转操作手，搬运芯片于显微镜下；\n7、在显微视觉的伺服控制下，通过图像处理和识别，控制操作手移 动，使得玻璃基导压孔的中心位于视场中心；\n8、在微力传感的控制下竖直向下放置玻璃基到芯片上，当两者刚刚 接触时，加直流电压1200V，正极和芯片相通，负极和玻璃基相通，键 合开始；\n9、封装头1下压到玻璃基上，加载。同时操作手撤出，用于第2个 传感器的键合作业；\n10、依此类推，当操作手从第3个加热点撤出后，第1个传感器已 经键合完毕，又操作手抓取取出，放置到物流台上，然后进行第4个传 感器的键合作业。如此循环，实现了传感器的自动键合作业流程。\n各项测试包括各轴工作台运动精度、图像对准精度和微力传感器指 标测试结果如下：\n                            操作手工作台检测结果   名称  检测项目   x轴   y轴   z轴   w轴   工作台  运动行程(mm)   50mm   50mm   10mm   274°  重复定位精度(μm)   1.5μm   1.5μm   1.5μm   0.015°  运动分辨率(μm)   0.5μm   0.5μm   0.5μm   0.005°\n                   定位工作台检测结果   名称   检测项目   x轴   y轴   工作台   运动行程(mm)   80mm   10mm   重复定位精度(μm)   1.5μm   1.5μm   运动分辨率(μm)   0.5μm   0.5μm\n     显微镜自动调焦工作台检测结果   名称  检测项目   技术指标   工作台  运动行程(mm)   20mm  重复定位精度(μm)   1.5μm  运动分辨率(μm)   0.5μm\n                      显微视觉系统检测结果(视觉定位精度)   名称   检测项目   技术指标                           检测结果   物镜   定位分辨率(μm)   4.0μm   3.81   3.79   3.80   3.81   3.80\n              微力传感器检测结果   名称   量程(mN)   精度(％F.S)   分辨率(mN)   一维力传感器   3000   0.5％   5