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一种基板研磨装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720648854.X
IPC分类号：B24B21/10;B24B21/18;B24B41/06;B24B57/02;B24B53/02
申请日期：
2017-06-06
申请人：
凯斯科技股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基板研磨装置
申请号	CN201720648854.X	申请日期	2017-06-06
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B21/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B21/00 使用磨削或抛光带的机床或装置（轻便砂带磨床入B24B 23/06）；以及附件〔4〕 B24B21/04 用于磨削平面 B24B21/10 带有刚性部件，如压杆，工作台，在其全部间距上压着或支持砂带	IPC分类号	B;2;4;B;2;1;/;1;0;;;B;2;4;B;2;1;/;1;8;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2;;;B;2;4;B;5;3;/;0;2查看分类表>
申请人	凯斯科技股份有限公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	凯斯科技股份有限公司	当前权利人	凯斯科技股份有限公司
发明人	李根雨;朴成贤
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华;李欣

摘要

本实用新型提出一种基板研磨装置，在利用带型研磨垫的基板研磨装置中，配备垫整修器，来提供研磨液并整修研磨垫。该基板研磨装置包括：一对驱动滚轴；研磨垫，被围在所述驱动滚轴进行旋转；基板载体，安装有基板；以及垫整修器；配置在所述研磨垫的上部，在进行所述基板的研磨时，向所述研磨垫提供研磨液，且在进行所述研磨垫的整修时，整修所述研磨垫。

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