用于传感器设备的微机械构件及用于传感器设备的微机械构件的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110184987.7
IPC分类号：B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00
申请日期：
2021-02-10
申请人：
罗伯特·博世有限公司

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著录项信息

专利名称	用于传感器设备的微机械构件及用于传感器设备的微机械构件的制造方法
申请号	CN202110184987.7	申请日期	2021-02-10
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-13	公开/公告号	CN113247856A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	罗伯特·博世有限公司	申请人地址	德国斯图加特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	罗伯特·博世有限公司	当前权利人	罗伯特·博世有限公司
发明人	J·克拉森
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	郭毅

摘要

本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，其具有：具有衬底表面(10a)的衬底(10)；布置在所述衬底表面和/或布置在至少部分覆盖所述衬底表面的至少一个中间层上的至少一个定子电极，至少一个定子电极分别由第一半导体层和/或金属层形成；可调节布置的至少一个执行器电极，至少一个执行器电极分别由第二半导体和/或金属层(P2)形成；跨越至少一个定子电极和至少一个执行器电极的膜片，膜片具有定向远离所述至少一个定子电极和至少一个执行器电极的膜片外侧(18a)，膜片外侧由第三半导体层和/或金属层(P3)形成；在膜片外侧上突出的加固结构和/或保护结构(54)由第四半导体层和/或金属层(P4)形成。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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