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一种半导体器件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210415041.8
  • IPC分类号:H01L21/8238
  • 申请日期:
    2012-10-26
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种半导体器件的制造方法
申请号CN201210415041.8申请日期2012-10-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-05-07公开/公告号CN103779279A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人韦庆松;于书坤
代理机构北京市磐华律师事务所代理人董巍;高伟
摘要
本发明提供一种半导体器件的制造方法,涉及半导体技术领域。该方法包括:步骤S101:提供半导体衬底,该半导体衬底包括将其分成NMOS区和PMOS区的浅沟槽隔离以及分别位于所述NMOS区和PMOS区的NMOS和PMOS的栅极结构、栅极偏移侧壁和栅极主侧壁;步骤S102:在所述PMOS的栅极结构两侧的所述半导体衬底上形成锗硅层;步骤S103:在与所述浅沟槽隔离相邻的所述NMOS和PMOS各自的栅极主侧壁的外侧分别形成保护侧壁,其中,临近所述浅沟槽隔离的所述保护侧壁延伸至所述浅沟槽隔离的表面以下。本发明的半导体器件的制造方法,由于增加了在栅极主侧壁外侧形成延伸至STI表面的保护侧壁的工艺,避免了与STI相邻位置的阻挡层缺损、高k介电层缺损及金属栅极底部凸起等不良,提高了器件良率。

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