改进的晶圆研磨定位环结构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02233745.8
IPC分类号：--
申请日期：
2002-05-17
申请人：
陈水源;陈水生;陈添丁

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	改进的晶圆研磨定位环结构
申请号	CN02233745.8	申请日期	2002-05-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	陈水源;陈水生;陈添丁	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陈水源,陈水生,陈添丁	当前权利人	陈水源,陈水生,陈添丁
发明人	陈水源;陈水生;陈添丁
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	董惠石

摘要

一种改进的晶圆研磨定位环结构，其环体由非金属本体环上部左旋螺纹螺合金属环所构成。其中本体环下缘有复数个环形等距离排列的废物摔出槽；环体内外有贯穿本体环与金属环的复数个出水孔。本实用新型克服了公知技术的缺点，其环体由本体环与金属环结合而成，其上缘环形排列结合驱动件的复数个螺孔可直接制作于金属环上，可避免公知技术中有二次误差的缺陷，并提高其合格率降低生产成本；且本体环下缘设复数个废物摔出槽，其两侧壁为弧形壁或斜直壁构成，可减缓研磨时废物摔出的速度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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