并联连杆机器人

暂无

并联连杆机器人\n技术领域\n[0001] 本发明涉及使用了三角型并联连杆机构的并联连杆机器人，该三角型并联连杆机构对末端执行器所具备的安装部件进行三维定位。\n背景技术\n[0002] 图11是现有技术中的并联连杆机器人的立体图。如图11所示，现有技术的并联连杆机器人100主要包括基础部110、可动板120以及连接基础部110与可动板120的三个连杆部200a～200c。而且，在可动板120上设有未图示的末端执行器的安装部件190。\n[0003] 从图11可知，连杆部200a包括从基础部110延伸的驱动连杆210a和从可动板\n120延伸的两根从动连杆220a、230a，这些连杆利用球面轴承彼此连接。而且，基础部110包括驱动驱动连杆210a的驱动器130a。另外，其它连杆部200b、200c也具有同样的结构。\n通过分别控制这些连杆部200a～200c的驱动器130a～130c，能够使可动板120以三个自由度(从第一轴到第三轴)移动，并定位在所需的位置。\n[0004] 如图12所示，近年来，对图11所示的结构再增加一个自由度的并联连杆机器人\n100越来越普及。如图12所示的并联连杆机器人100已经被日本特公平4-45310号公报及日本特表2002-532269号公报公开。而且，在图12及后述的图13中，以简洁为目的，省略了驱动器130a～130c。\n[0005] 在图12中，在基础部110上配置有用于第四轴的追加的驱动器130d。而且，追加的连杆部200d连接驱动器130d与可动板120。如图12所示，连杆部200d包括用万向接头连接的驱动轴250。由于基础部110与可动板120的相对位置发生变化，因此驱动轴250具有可伸缩的结构。从而，即使在基础部110与可动板120的相对位置变化时，连杆部200d也能追随于它，因此，能够使安装部件190向图12的箭头方向绕第四轴旋转。\n[0006] 图13是对图11所示的结构再增加一个自由度的现有技术的并联连杆机器人的简图，并已经被美国专利第4976582号说明书公开。在图13中，追加的驱动器130d直接配置在可动板120上。因此，能够容易地使与可动板120连接的安装部件190在箭头方向绕第四轴旋转。\n[0007] 然而，在图12所示的结构中，驱动轴250的可伸缩的长度有限。从图12可知，驱动杆250包括汽缸和杆，通常，驱动轴250的最小长度是汽缸及杆之中长的一方，驱动轴250的最大长度与汽缸和杆的总长度大致相等。从而，可动板120的可动作范围被限制在驱动轴250的最大长度与最小长度之间。\n[0008] 图14是现有技术的并联连杆机器人的局部放大图。如图14所示，驱动轴250的杆借助于万向接头251包含于连杆部200d中。但是，随着图14所示的折弯角度α变大，万向接头251与其它部件干涉(请参照图14的用单点划线包围的部分)。由此，可动板120的可动作范围还受到万向接头251的折弯角度的限制。\n[0009] 再有，在图13所示的结构中，由于驱动器130d比较重，因此可动板120的加减速性能明显受到限制。例如，在并联连杆机器人100的末端执行器进行简单的往复运动的情况下，因加减速性能受到限制而每单位时间的往复次数变少，从而处理能力下降。\n[0010] 另外，在可动板120暴露于酸或碱等腐蚀性溶液的环境中使用的情况下，腐蚀性溶液有可能飞溅到驱动器130d上。在这种情况下，驱动器130d发生故障，安装部件190的一个自由度下降。因此，至少驱动器130d及其配线需要使用保护罩(未图示)等适当保护。\n[0011] 在图12及图13所示的结构的情况下，由于驱动轴250的尺寸或驱动器130d的配置空间的关系，存在增加一个自由度的限制，现在这种形式的并联连杆机器人100可以在市场上买到。\n[0012] 另外，图15a及图15b是对图11所示的并联连杆机器人分别再增加了两个及三个自由度的并联连杆机器人的立体图。在图15a中，末端执行器的安装部件190通过中间部件160可旋转地安装在可动板120上。而且，在图15b中，安装部件190通过两个中间部件\n160、170可旋转地安装在可动板120上。\n[0013] 然而，如果追加这种中间部件160、170，则如图13所示在将追加的驱动器130d配置在可动板120上的情况下，可动板120的加减速性能会因这些部件的重量而进一步受到限制。而且，在如图12所示，使用了可伸缩的驱动轴的情况下，为了提高自由度而需要可伸缩的追加的驱动轴，所以由于中间部件160、170的物理尺寸的原因，还牵连到进一步限制可动板120的可动作区域。因此，若要对图11所示的并联连杆机器人再增加两个或三个自由度，虽然在理论上可行，但实际应用是困难的。\n[0014] 图16a是现有技术的并联连杆机器人的其它立体图，图16b是图16a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。在这些图16a及图16b中，追加驱动器130d配置在可动板120上。而且，在安装部件190上安装有作为末端执行器的吸盘780。\n[0015] 如图16a及图16b所示，用于对吸盘780提供吸引力的吸引用气管790通过旋转吸收单元800与吸盘780连接。旋转吸收单元800通过自由旋转，起到在追加驱动器130d等驱动时防止吸引用气管790卷绕在其它部件上的作用。\n[0016] 然而，由于旋转吸收单元800配置在吸盘780与安装部件190之间，因此需要加长安装部件190与吸盘780之间的距离。所以，在现有技术中，存在吸盘780大型化而容易与工件W干涉的问题。而且，在使用无法安装旋转吸收单元800的末端执行器的情况下，或者需要用于末端执行器的电缆的情况下，还存在如下问题，即在追加驱动器130d等的驱动时，与末端执行器相关的配管、例如气管或配线、例如电缆卷绕在其它部件上的问题。\n发明内容\n[0017] 本发明就是鉴于这种情况而做出的，其目的在于提供一种不缩小可动作区域且不降低加减速性能，而提高了自由度的并联连杆机器人。\n[0018] 为了达到上述目的，根据第一方案的发明，提供如下并联连杆机器人，其具备：基础部，可动部，连接上述基础部与上述可动部并对上述基础部分别具有一个自由度的三个连杆部，以及分别驱动该连杆部的三个驱动器；各个上述连杆部包括与上述基础部连接的驱动连杆，以及连接该驱动连杆与上述可动部并彼此平行的两根从动连杆；该并联连杆机器人具备：变更附属于上述可动部的部件的姿势的姿势变更机构部，至少在一个上述连杆部的上述两根从动连杆之间与这些从动连杆平行地配置的追加驱动器，以及从上述追加驱动器同轴地延伸并将该追加驱动器的旋转驱动力传递给上述姿势变更机构部的动力传递轴部。\n[0019] 根据第二方案的发明，提供如下并联连杆机器人，其具备：基础部，可动部，连接上述基础部与上述可动部并对上述基础部分别具有一个自由度的三个连杆部，以及分别驱动该连杆部的三个驱动器；各个上述连杆部包括与上述基础部连接的驱动连杆，以及连接该驱动连杆与上述可动部并彼此平行的两根从动连杆；该并联连杆机器人具备：变更附属于上述可动部的部件的姿势的姿势变更机构部，在一个上述连杆部的上述两根从动连杆之间与这些从动连杆平行地配置的追加驱动器，以及从上述追加驱动器同轴地延伸并将该追加驱动器的旋转驱动力传递给上述姿势变更机构部的动力传递轴部；形成有从上述姿势变更机构部上表面贯通至下表面的贯通孔。\n[0020] 根据第三方案的发明，在第一方案或第二方案的发明的基础上，上述动力传递轴部的至少一部分包括：具备键的内筒，以及形成有与上述键对应的键槽的外筒。\n[0021] 根据第四方案的发明，在第一方案或第二方案的发明的基础上，上述动力传递轴部的至少一部分包括：具备花键轴的内筒，以及形成有与上述花键轴对应的花键孔的外筒。\n[0022] 根据第五方案的发明，在第一方案或第二方案的发明的基础上，上述追加驱动器与上述驱动连杆邻接地配置。\n[0023] 根据参照附图对本发明的优选实施例的详细描述，本发明的这些及其它目的、特征以及优点将变得更加清楚。\n附图说明\n[0024] 图1是基于本发明的典型的实施方式的并联连杆机器人的立体图。\n[0025] 图2是图1所示的并联连杆机器人的局部立体图。\n[0026] 图3是一个实施方式的辅助连杆的放大图。\n[0027] 图4a是用于说明可动板移动时的从动连杆的动作的第一简图。图4b是用于说明可动板移动时的从动连杆的动作的第二简图。\n[0028] 图5是表示在对图11所示的结构再增加了一个自由度的情况下，将输入到可动板的旋转驱动力传递给安装部件的姿势变更机构部的简图。\n[0029] 图6是表示在对图11所示的结构再增加了三个自由度的情况下，将输入到可动板的旋转驱动力传递给安装部件的姿势变更机构部的简图。\n[0030] 图7是表示配置在从动连杆的前端的球面轴承部的详细结构的放大图。\n[0031] 图8a是并联连杆机器人的局部分解立体图。图8b是动力传递轴部的第一放大图。\n图8c是动力传递轴部的第二放大图。\n[0032] 图9a是本发明的另一个实施方式的并联连杆机器人的立体图。图9b是图9a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。\n[0033] 图10a是本发明的再一个实施方式的并联连杆机器人的立体图。图10b是图10a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。\n[0034] 图11是现有技术的并联连杆机器人的立体图。\n[0035] 图12是对图11所示的结构再增加一个自由度的现有技术的并联连杆机器人的第一简图。\n[0036] 图13是对图11所示的结构再增加一个自由度的现有技术的并联连杆机器人的第二简图。\n[0037] 图14是现有技术的并联连杆机器人的局部放大图。\n[0038] 图15a是对图11所示的结构再增加两个自由度的并联连杆机器人的立体图。图\n15b是对图11所示的结构再增加三个自由度的并联连杆机器人的立体图。\n[0039] 图16a是现有技术的并联连杆机器人的其它立体图。图16b是图16a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。\n具体实施方式\n[0040] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下附图中对相同的部件标注了相同的附图标记。为了便于理解，这些附图适当变更了缩小比例。\n[0041] 图1是基于本发明的典型的实施方式的并联连杆机器人的立体图。在图1中，并联连杆机器人10主要包括：装于壳体18内的基础部11；可动板12；以及连接基础部11与可动板12的三个连杆部20a～20c。在可动板120的下面设有安装部件19，未图示的末端执行器安装在安装部件19上。\n[0042] 图2是图1所示的并联连杆机器人的局部立体图。如图2所示，连杆部20b包括驱动连杆21b以及从可动板12延伸的两根从动连杆22b、23b，这些连杆利用球面轴承42b、\n43b彼此连接。而且，从动连杆22b、23b的前端利用球面轴承44b、45b与可动板12连接。\n这些球面轴承42b～45b配置成以这些球面轴承为顶点的四边形成为平行四边形。在图1中，从基础部11延伸的驱动连杆21b与驱动驱动连杆21b的驱动器13b连接。该驱动器\n13b放置在基础部11上。\n[0043] 其它连杆部20a、20c具有与连杆部20b相同的结构，所以省略详细说明。而且，从图中可知，本发明的并联连杆机器人10为三角型。另外，通过分别控制连杆部20a～20c的驱动器13a～13c，能够将与可动板12连接的安装部件19以三自由度相对于第一轴至第三轴定位在所需位置上。\n[0044] 再参照图2，辅助连杆31通过轴承相互连接两根从动连杆22b、23b。而且，在从辅助连杆31的中央部分通过轴承延伸的轴32上安装有追加驱动器13d。如图所示，追加驱动器13d的输出轴朝向可动板12。\n[0045] 如图12所示，从追加驱动器13d的输出轴延伸的动力传递轴部39在两根从动连杆22b、23b之间，与这些从动连杆22b、23b平行地延伸。而且，动力传递轴部39通过万向接头38连接在从姿势变更机构部15延伸的轴部14上。另外，万向接头38最好位于连结两个球面轴承44b、45b的线段上。\n[0046] 姿势变更机构部15起到变更安装部件19的姿势的作用，从而，能够变更末端执行器的姿势。另外，姿势变更机构部15其一部分包含于可动板12中。或者，姿势变更机构部\n15整体位于可动板12与安装部件19之间。\n[0047] 另外，从图2可知，辅助连杆31及追加驱动器13d最好与驱动连杆21b邻接。在此情况下，追加驱动器13d位于远离可动板12的位置。从而，即使在腐蚀性溶液飞溅到可动板12上的环境下，也能进一步减少保护追加驱动器13d的必要性。\n[0048] 图3是一个实施方式的辅助连杆的放大图。在图3中，两根辅助连杆31可转动地连接在分别通过从动连杆22b、23b的杆33a、33b上。另外，追加驱动器13d具备从其端部突出的突出部13d′。而且，在辅助连杆31的中央，杆33c贯通突出部13d′的孔及两根辅助连杆31。由于是这种结构，因此突出部13d′能够绕杆33c转动。\n[0049] 图4a及图4b是用于说明可动板移动时的从动连杆的动作的简图，图4a表示不动作时的情况，图4b表示动作时的情况。从这些附图可知，即使在可动板12移动时，两根从动连杆22b、23b也是彼此平行的。而且，追加驱动器13d的动力传递轴部39也维持与两根从动连杆22b、23b的平行。即，两根从动连杆22b、23b及动力传递轴部39总是彼此平行，而且，它们的长度也不发生变化。从而，在本发明中，动力传递轴部39无需是伸缩结构。\n[0050] 图5是表示对图11所示的结构再增加一个自由度的情况下将输入到可动板的旋转驱动力传递给安装部件的姿势变更机构部的简图。即，图5与图1所示的结构大致对应。\n在图5中，姿势变更机构部15包含于可动板12内。图5中的姿势变更机构部15主要包括：\n安装在轴部14上的斜齿齿轮51；以及安装在从安装部件19延伸的轴部上并与斜齿齿轮51啮合的斜齿齿轮52。\n[0051] 从而，追加驱动器13d的旋转驱动力通过动力传递轴部39及轴部14传递到姿势变更机构部15。而且，姿势变更机构部15以所传递的旋转驱动力使安装部件19向箭头方向旋转。即，并联连杆机器人10的可动板12不仅具有由驱动器13a～13c得到的三自由度，而且还使用追加驱动器13d再追加了一个自由度。从而，本发明的并联连杆机器人10的末端执行器(未图示)能够进行更复杂的作业。\n[0052] 另外，在本发明中，如图2所示，追加驱动器13d在两根从动连杆22b、23b之间与这些从动连杆平行地配置。从而，具备从动连杆21b的连杆部20b及其它连杆部20a、20c的动作范围不会因追加驱动器13d而缩小。而且，由于追加驱动器13d及其相关部件并未配置在可动板12上，因此也不会损害可动板12的加减速性能。\n[0053] 而且，在本发明中，追加驱动器13d并没有直接安装在可动板12上，而是配置在离可动板12比较远的地方。因此，即使在腐蚀性溶液飞溅到可动部的环境下使用并联连杆机器人10的情况下，腐蚀性溶液也几乎不会到达追加驱动器13d，从而，能够排除保护追加驱动器13d的保护罩。\n[0054] 图6是表示对图11所示的结构再增加三个自由度的情况下将输入到可动板的旋转驱动力传递给安装部件的姿势变更机构部的简图。在图6中，不仅表示出追加驱动器\n13d，而且还表示出两个追加驱动器13e、13f。如参照图2所说明的那样，驱动器13e在从动连杆22a、23a之间与这些从动连杆平行地配置，驱动器13f在从动连杆22c、23c之间与这些从动连杆平行地配置。而且，由于和追加驱动器13e、13f相关的动力传递轴部及万向接头与追加驱动器13d的情况相同，所以省略说明。\n[0055] 在图6所示的实施方式中，姿势变更机构部15仅部分地包含于可动板12内。而且，在可动板12的下面，可旋转地安装有第一手腕部件16，在第一手腕部件16的一侧可旋转地安装有第二手腕部件17。末端执行器(未图示)的安装部件19可旋转地安装在第二手腕部件17的下面。\n[0056] 如图6所示，斜齿齿轮52与第一手腕部件16一体地动作。和追加驱动器13e相关的斜齿齿轮53与绕第一手腕部件16的旋转轴线旋转的斜齿齿轮54啮合。而且，位于斜齿齿轮54的相反一侧的斜齿齿轮55同与第二手腕部件17一体地旋转的斜齿齿轮56啮合。\n[0057] 而且，如图6所示，和驱动器13f相关的斜齿齿轮57与绕第一手腕部件16的旋转轴线旋转的斜齿齿轮58啮合。而且，位于斜齿齿轮58的相反一侧的斜齿齿轮59与绕第二手腕部件的旋转轴线旋转的斜齿齿轮60啮合。另外，位于斜齿齿轮60的相反一侧的斜齿齿轮61同与安装部件19一体地旋转的斜齿齿轮62啮合。这种结构是众所周知的，所以省略详细的说明。\n[0058] 在图6所示的实施方式中，追加驱动器13d的旋转驱动力通过动力传递轴部39及轴部14，并利用斜齿齿轮51、52使第一手腕部件16向箭头A1方向旋转。而且，追加驱动器13e的旋转驱动力通过对应的动力传递部等，并利用斜齿齿轮53、54、55、56使第二手腕部件17向箭头A2方向旋转。另外，驱动器13f的旋转动力通过对应的动力传递部等，并利用斜齿齿轮57、58、59、60、61、62使安装部件19向箭头A3方向旋转。\n[0059] 从而，图6所示的实施方式的并联连杆机器人10的可动板12不仅具有由驱动器\n13a～13c得到的三自由度，而且还使用追加驱动器13d～13f再增加了三个自由度。因此，本发明的并联连杆机器人10的末端执行器(未图示)能够进行更复杂的作业。\n[0060] 虽然在上述图11所示的结构中，只能进行将放置在水平面上的部件举起并移动到其它地方之类的简单的作业，但在图6所示的结构中，就能进行将部件立起、或倾斜地组装或者扭转的同时插入之类的复杂的作业。再有，在图6所示的实施方式中，很明显能够得到上述效果。而且，第一手腕部件16及安装部件19与第二手腕部件17的旋转轴线无需彼此正交，即使是形成90度以外的角度的情况也包含于本发明的范围。另外，当然很明显，即使是排除了第二手腕部件17及追加驱动器13f的结构，也包含于本发明的范围。\n[0061] 另外，图7是表示配置在从动连杆的前端的球面轴承部的详细结构的放大图。在图7及后述的图8中，虽以从动连杆22b、23b为代表进行了图示，但其它从动连杆22a、23a、\n22c、23c也是同样的情况。在图7中，贯通杆65贯通从动连杆21b，贯通杆65的两端部66b、\n67b形成为球状。这些贯通杆65的两端部66b、67b分别容纳在从动连杆22b、23b的球面轴承42b、43b内。\n[0062] 而且，在图7中，两根从动连杆22b、23b利用弹簧29互相拉近。从而，在并联连杆机器人10进行动作时，从动连杆21b不会脱离从动连杆22b、23b。而且，在因操作错误等而使可动板12与周围设备等碰撞的情况下，贯通杆65的两端部66b、67b容易从球面轴承\n42b、43b脱离，从动连杆21b与从动连杆22b、23b彼此分离。从而，能够防止这些从动连杆\n21b及从动连杆22b、23b损伤。\n[0063] 图8a是并联连杆机器人的局部分解立体图。在图8a中，动力传递轴部39包括外筒72，动力传递轴部39的一部分作为内筒71而插入到外筒72内。如作为动力传递轴部的第一放大图的图8b所示，在内筒71的前端设有沿轴向延伸的键73，在外筒72的孔中形成有与键73对应的键槽74。从而，即使在将内筒71插入到外筒72内的情况下，内筒71及外筒72不会沿圆周方向彼此旋转，从而能够将追加驱动器13d的旋转驱动力适当地传递至姿势变更机构部15。\n[0064] 另外，在因操作错误等使可动板12与周边设备等碰撞而使从动连杆21b与从动连杆22b、23b彼此分离的情况下，动力传递轴部39的内筒71容易沿轴向从外筒72脱离。由此，能够避免动力传递轴部39受到折损等致命的损伤。\n[0065] 图8c是动力传递轴部的第二放大图。在图8c中，动力传递轴部39的内筒71的前端形成为花键轴75。而且，在外筒72上形成有与花键轴75对应的花键孔76。在这种情况下也很显然，动力传递轴部39的内筒71也容易沿轴向从外筒72脱离，从而能够避免动力传递轴部39受到致命的损伤。\n[0066] 另外，除了图8b及图8c所示的键73及花键轴75以外，还可以采用既能限制内筒\n71及外筒72彼此旋转，同时又能使内筒71及外筒72沿轴向自由滑动的结构。即使是这种情况，也包含于本发明的范围。\n[0067] 图9a是本发明的另一个实施方式的并联连杆机器人的立体图，图9b是图9a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。在图9a及后述的图10a中，以简洁为目的而省略了追加驱动器13d及其相关部件。如图9a及图9b所示，在可动板12上形成有贯通其上表面及下表面的贯通孔12a。而且，在可动板12的贯通孔12a中可旋转地插入了安装部件19。另外，从图9b可知，安装部件19与斜齿齿轮52一体地旋转。\n[0068] 如图9b所示，在安装部件19上也形成有与贯通孔12a同轴的贯通孔28。而且，用于末端执行器的配管、例如气管79插入到安装部件19的贯通孔28中。气管79起到在末端执行器为吸盘的情况下对吸盘提供吸引力的作用。另外，末端执行器不限于吸盘，而且除了气管79之外，还可以将电缆插入安装部件19的贯通孔28中。从而，即使在追加驱动器13d等已经驱动的情况下，也能够防止气管79及/或电缆卷绕在其它部件上，例如卷绕在安装于安装部件19上的末端执行器等上。另外，在图9b所示的情况下，安装部件19的旋转被气管79及/或电缆的扭转所吸收。\n[0069] 图10a是本发明的再一个实施方式的并联连杆机器人的立体图，图10b是图10a所示的并联连杆机器人的局部剖视图。在这些附图中，具备贯通孔28的安装部件19也插入到可动板12的贯通孔12a内。而且，在安装部件19的下端安装有作为末端执行器的吸盘78。\n[0070] 而且，在安装部件19的上端侧的贯通孔28中安装有旋转吸收单元80。从图10b可知，由于旋转吸收单元80通过旋转密封件81安装在贯通孔28中。因此旋转吸收单元80能够在安装部件19的贯通孔28内旋转。而且，在从安装部件19突出的旋转吸收单元80的一部分上，通过接头83连接有吸盘78的气管79。\n[0071] 如图10b所示，旋转吸收单元80的上端被封闭，因此气管79通过旋转吸收单元80及安装部件19与吸盘78连通。从而，气管79能够不衰减地将吸引力给予吸盘78。而且，还可以知道，由于具备旋转吸收单元，因此在图10b所示的实施方式中，也能够防止在追加驱动器13d等驱动时，气管79卷绕在其它部件上，例如卷绕在末端执行器等上的情况。另外，在图10b所示的情况下，不会发生气管79的扭转，因此与图9b所示的情况相比，气管能够长期使用。\n[0072] 而且，在图10a及图10b中，旋转吸收单元80配置在可动板12及安装部件19的上方。换言之，无需将旋转吸收单元80配置在安装部件19与吸盘78之间。从而，在图10b所示的实施方式中，无需加长安装部件19与吸盘78之间的距离。其结果，吸盘78的筒部\n78a能够做得比较短。因而，很显然，能够防止吸盘78与工件W(请参照图10a)干涉。\n[0073] 即，在第一方案的发明中，由于能够将追加驱动器追加至与连杆部相同的数量，所以能够提高并联连杆机器人的自由度。从而，虽然在图9所示的结构中只能进行将放置在水平面上的部件举起并移动到其它地方之类的简单的作业，但在第一方案的发明中，则能进行将部件立起、或倾斜地组装或者在扭转的同时插入之类的复杂的作业。\n[0074] 而且，由于追加驱动器在两根从动连杆之间与这些从动连杆平行地配置，因此具备这些从动连杆的连杆部及剩余的连杆部的动作范围不会因追加驱动器而缩小。另外，由于追加驱动器及其相关部件并没有直接配置在可动部上，因此不会损害可动部的加减速性能。而且，由于追加驱动器配置在远离可动部的地方，所以即使在腐蚀性溶液飞溅到可动部的环境下，也能够排除保护追加驱动器的保护罩。\n[0075] 在第二方案的发明中，能够使用于要安装在附属于可动部的部件上的末端执行器的配管及配线通过贯通孔。从而，无需将旋转吸收单元设在末端执行器、例如吸盘的筒部外周面上。因此，能够缩短附属于可动部的部件与末端执行器之间的距离，能够防止末端执行器与工件干涉。另外，由于能够使配管及配线通过贯通孔，因此能够防止驱动时配管及配线卷绕在其它部件上，例如卷绕在末端执行器等上的情况。\n[0076] 即，在第三方案的发明中，即使在因某种原因而使从动连杆脱离驱动连杆的情况下，动力传递轴部的内筒也沿轴向从其外筒脱离，因此能够防止对动力传递轴部带来致命的损伤。\n[0077] 即，在第四方案的发明中，即使在因某种原因而使从动连杆脱离驱动连杆的情况下，动力传递轴部的内筒也沿轴向从其外筒脱离，因此能够防止对动力传递轴部带来致命的损伤。\n[0078] 即，在第五方案的发明中，在腐蚀性溶液飞溅到可动部的环境下，也能进一步减少保护追加驱动器的必要性。\n[0079] 虽然本发明通过优选实施方式对其进行了表示和描述，但本领域的技术人员应当理解，对其进行的前述的和各种其它改变、删除和追加都不脱离本发明的保护范围。