扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201180073722.4
IPC分类号：H01J37/28;H01J37/244
申请日期：
2011-09-28
申请人：
SNU精度株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法
申请号	CN201180073722.4	申请日期	2011-09-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-25	公开/公告号	CN103890896A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/28 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/26 电子或离子显微镜；电子或离子衍射管〔2〕 H01J37/28 带有扫描射束的	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;8;;;H;0;1;J;3;7;/;2;4;4查看分类表>
申请人	SNU精度株式会社	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	SNU精度株式会社	当前权利人	SNU精度株式会社
发明人	金锡;安宰亨;康舜捧
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张大威

摘要

本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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