多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统发明专利
申请号：CN201510080857.3
LOC分类号:H01S3/094
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F1一般工程
- F15流体压力执行机构；一般液压技术和气动技术
- F15B般流体工作系统；流体压力执行机构，如伺服马达；不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件（马达、涡轮机、压缩机、鼓风机、泵入F01至F04；流体动力学入F15D；流体离合器或制动器入F16D；流体弹簧入F16F；流体传动装置入F16H；活塞、缸、密封入F16J；阀、输水器、旋塞、致动浮子入F16K；用于对主阀的辅助流体操纵的安全阀入F16K17/10；阀的流体操纵装置入F16K31/12；管子、管接头入F16L；润滑入F16N）
- F15B21/00流体致动系统的共有特征；不包含在本小类其他各组中的流体压力致动系统或其部件
- F15B21/08包括电控设备的伺服马达系统（F15B 21/02优先）
