多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201510080857.3
IPC分类号：H01S3/094;H01S3/081
申请日期：
2015-02-15
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统
申请号	CN201510080857.3	申请日期	2015-02-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-05-20	公开/公告号	CN104638503A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01S3/094 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01S 利用受激发射的器件 H01S3/00 激光器，即利用受激发射对红外光、可见光或紫外线进行产生、放大、调制、解调或变频的器件（半导体激光器入H01S 5/00） H01S3/09 激励的方法或装置，例如泵激励 H01S3/091 应用光泵的〔2〕 H01S3/094 利用相干光〔2〕	IPC分类号	H;0;1;S;3;/;0;9;4;;;H;0;1;S;3;/;0;8;1查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	张宗昕;冷雨欣;王成;赵全忠;王关德
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯;张宁展

摘要

一种多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP‑EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP‑EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP‑EUV光刻光源的功率输出能力。

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