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一种高温气相沉积炉体结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201820292344.8
  • IPC分类号:C23C16/44
  • 申请日期:
    2018-03-02
  • 申请人:
    丹东英普朗特科技有限公司
著录项信息
专利名称一种高温气相沉积炉体结构
申请号CN201820292344.8申请日期2018-03-02
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人丹东英普朗特科技有限公司申请人地址
辽宁省丹东市沿江开发区L区71号楼102室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人丹东英普朗特科技有限公司当前权利人丹东英普朗特科技有限公司
发明人王玉泉
代理机构沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人俞鲁江
摘要
本实用新型公开一种高温气相沉积炉体结构,包括上圈、中圈及下圈;所述上圈包括不锈钢环,不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环,所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环;所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环,最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底,所述不锈钢圈底内设置岩棉;所述不锈钢圈底上设置通孔;不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件;所述上圈与中圈间为上壁,所述上壁由两个纤维环组成;所述中圈与下圈间为下壁,所述下壁由两个纤维环组成;上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。本实用新型的优点是:炉体分段设置,并且,根据炉体温度的要求不同,可相应设置不同的厚度及形状;更换方便。

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