五自由度精密定位平台

1、一种五自由度精密定位平台，采用压电驱动器驱动，其特征在于该平 台由基体(4)及其底部的第一支座(5)和第二支座(6)构成，该基体(4) 包含第一动平台(1)、第二动平台(2)和第三动平台(3)，其中第一动平台 (1)实现x方向平动，第二动平台(2)实现y方向平动，第三动平台(3) 实现z轴转动，第一支座(5)和第二支座(6)单独伸长，通过伸长量的同 异带动基体(4)实现z方向平移和一维转动，所述的第三动平台(3)分别 通过第一转动副柔性铰链(7)和第二转动副柔性铰链(8)与底部的第一支座(5) 和第二支座(6)连接。
2、根据权利要求1所述的五自由度精密定位平台，其特征在于第三动平 台(3)与基体(4)通过四块L形的弹性平板(3-1、3-2、3-3、3-4)连接，第 三动平台(3)与基体(4)之间安放第三、第四压电陶瓷驱动器(9-3、9-4)， 该两个驱动器(9-3、9-4)两端分别与第三动平台(3)和基体(4)的端面接 触。
3、根据权利要求1所述的五自由度精密定位平台，其特征在于第二动平 台(2)与第三动平台(3)通过四块弹性板(2-1、2-2、2-3、2-4)连接，弹 性板(2-1、2-2、2-3、2-4)与第三动平台(3)和第二动平台(2)构成一组 双层弹性平行板式移动导向机构，第三动平台(3)与第二动平台(2)之间 安放第二压电陶瓷驱动器(9-2)，该驱动器(9-2)两端分别与第三动平台(3) 和第二动平台(2)的端面接触。
4、根据权利要求1所述的五自由度精密定位平台，其特征在于第二动平 台(2)与第一动平台(1)通过四块弹性板(1-1、1-2、1-3、1-4)连接，弹 性板(1-1、1-2、1-3、1-4)与第二动平台(2)和第一动平台(1)构成一组 双层弹性平行板式移动导向机构，第二动平台(2)与第一动平台(1)之间 安放第一压电陶瓷驱动器(9-1)，该驱动器(9-1)两端分别与第二动平台(2) 和第一动平台(1)的端面接触。
5、根据权利要求1所述的五自由度精密定位平台，其特征在于所述的第 一支座(5)和第二支座(6)的结构相同，它由四边(5-1、5-2、5-3、5-4)八 杆(5-5、5-6、5-7、5-8、5-9、5-10、5-11、5-12)及其连接处的转动副柔性 铰链组成平行四边形双连杆导向机构。
6、根据权利要求1所述的五自由度精密定位平台，其特征在于所述的第 一支座(5)和第二支座(6)的结构相同，为四边(5-1、5-2、5-3、5-4)四杆 (5-5、5-6、5-7、5-8)及其连接处的转动副柔性铰链组成平行四边形单连杆 导向机构。
7、根据权利要求5或6所述的五自由度精密定位平台，其特征在于所述 的第一支座(5)和第二支座(6)可以通过改变连杆夹角a和长度l实现输出输 入放大比。
8、根据权利要求1至7任一项所述的五自由度精密定位平台，其特征在 于所述的第一支座(5)和第二支座(6)置于第一动平台(1)之上，在第一支 座(5)和第二支座(6)之上放置支撑平台(10)，该支撑平台(10)具有五自 由度运动。

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