载物台装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200680020466.1
IPC分类号：G05D3/00;G03F9/00;G12B5/00;H01L21/027;H01L21/68
申请日期：
2006-07-20
申请人：
住友重机械工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	载物台装置
申请号	CN200680020466.1	申请日期	2006-07-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-06-04	公开/公告号	CN101194214
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D3/00 位置或方向的控制（G05D 1/00优先；用于数字控制的入G05B 19/18）	IPC分类号	G;0;5;D;3;/;0;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;1;2;B;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	住友重机械工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友重机械工业株式会社	当前权利人	住友重机械工业株式会社
发明人	中岛龙太
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	黄剑锋

摘要

本发明的载物台装置(10)具有用于载置晶片(12)的晶片保持部件(14)、可升降地支撑晶片保持部件(14)的Z轴支撑基座(18)、经由轴承(20)可转动地支撑Z轴支撑基座(18)的θz支撑基座(22)、和搭载θz支撑基座(22)的XY工作台(24)。Z轴执行元件(36)的固定元件(36a)固定在θz支撑基座(22)的平面部(34)上，可动元件(36)固定在晶片保持部件(14)的横架部件(14b)的两端上。一对Z轴执行元件(36)被控制以使其对晶片保持部件(14)的横架部件(14b)同时施加驱动力。此时，Z轴执行元件(36)的驱动力的反作用力被θz支撑基座(22)及XY工作台(24)承接，所以抑制了由反作用力引起的振动发生。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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