一种半导体光刻板移动机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020564337.6
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/677;H01L21/683
申请日期：
2020-04-15
申请人：
林丽琴

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著录项信息

专利名称	一种半导体光刻板移动机构
申请号	CN202020564337.6	申请日期	2020-04-15
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	林丽琴	申请人地址	北京市昌平区科技园区振兴路28号2号楼314室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京知新鹏成半导体科技有限公司	当前权利人	北京知新鹏成半导体科技有限公司
发明人	徐莹
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种半导体光刻板移动机构，其结构包括运输板、滑动连接块、滑轨、连接斜板、滑轨体、支撑底块、侧连接块、圆杆,本实用新型一种半导体光刻板移动机构，在将光刻板放置在运输板上的时候，光刻板会先于板体上的吸附块顶端相接触，从而使其能够对光刻板产生一定的吸附，在运输板快移动到加工设备上的时候，板体底部上的活动连接块便于与轨体上的圆杆相接触，从而使活动连接块受力向上移动，带动抽动连接杆上移，使抽板上推，将吸附光刻板推起，使吸附块接触对光刻板的吸附方便进行卸下，使设备在进行使用的时候，其上的运输板能够较好的对光刻板进行吸附固定，在要将其卸下的时候，自动解除吸附，提高了设备对光刻板运输的稳定性。

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