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金属有机化合物化学气相沉积加热器

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201220050978.5
  • IPC分类号:C23C16/46
  • 申请日期:
    2012-02-17
  • 申请人:
    苏州艾默特材料技术有限公司
著录项信息
专利名称金属有机化合物化学气相沉积加热器
申请号CN201220050978.5申请日期2012-02-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/46IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;6查看分类表>
申请人苏州艾默特材料技术有限公司申请人地址
江苏省昆山市玉山镇苇城南路1699号1306室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州艾默特材料技术有限公司当前权利人苏州艾默特材料技术有限公司
发明人都业志;李玉花
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种金属有机化合物化学气相沉积加热器,包括支座,所述支座上设有绝缘层,所述绝缘层上设置有若干支架,所述支架上连接有加热体。电阻丝布置更均匀,温度均匀性高;承载电流的截面积增加,功率高,可以实现快速的升温和降温;矩形截面的加热丝排布好后,加热平面的高低一致性非常好;制造工艺简单,成本比板材加工的加热体大幅降低;单相阻值便于调整,保温时的单相加热功率的自动化控制更容易,提高温度均匀性;当需要增大加热面积实现更多芯片沉积,加热面积可以用增加圈数N来增加加热面积,成本相对较低,而且容易实现。

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