一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201620669456.1
IPC分类号：B24B29/02;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/04;B24B57/02
申请日期：
2016-06-30
申请人：
江西大杰新能源技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机
申请号	CN201620669456.1	申请日期	2016-06-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕 B24B29/02 适用于特殊工件的〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;4;7;/;1;2;;;B;2;4;B;4;7;/;2;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;4;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人	江西大杰新能源技术有限公司	申请人地址	江西省鹰潭市贵溪市经济开发区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江西大杰新能源技术有限公司	当前权利人	江西大杰新能源技术有限公司
发明人	支秉旭
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机没有防止抛光液飞溅的功能，这就容易导致抛光液四处飞溅，不仅容易溅入操作人员的眼睛，影响视力，而且影响车间的环境质量，存在不足。本实用新型涉及一种卧式防止抛光液飞溅的硅片抛光机，其中：第二电机与第二主动带轮固定连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与弹簧罩固定连接，弹簧罩内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，抛光液箱通过液管与喷头连接。本装置采用卧式的结构，阻止抛光液飞溅，不仅确保人身安全，同时有利于提高车间环境质量。

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