旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN96218605.8
IPC分类号：--
申请日期：
1996-08-09
申请人：
王福贞

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法律信息

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著录项信息

专利名称	旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机
申请号	CN96218605.8	申请日期	1996-08-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	王福贞	申请人地址	北京市朝阳区新源街07楼3门401 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	王福贞	当前权利人	王福贞
发明人	王福贞
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机,在镀膜室中央安装旋转磁控柱状弧源。主要由镀膜室、工件转架、旋转磁控柱状弧源、进气系统、弧源电源、烘烤加热源、引弧针系统、真空系统、工件偏压电源组成。柱弧源由管状金属材料作靶材、管内安装数根条形永磁体,永磁体在靶管内作旋转运动。弧斑呈线状沿柱弧靶全长分布,并沿柱弧靶面扫描。旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机有立式结构、卧式结构、箱式结构。设备结构简单操作简便。适于镀氮化钛涂层。应用于超硬涂层刀具和钛金精饰品等领域。

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