基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810054908.5
IPC分类号：G01B11/24;G01B11/30
申请日期：
2008-04-30
申请人：
中北大学

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专利名称	基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法
申请号	CN200810054908.5	申请日期	2008-04-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-09-17	公开/公告号	CN101266139
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市尖草坪区学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	薛晨阳;张文栋;熊继军;刘俊;刘文怡;李明;魏天杰
代理机构	山西太原科卫专利事务所	代理人	朱源

摘要

本发明涉及微机电MEMS器件的微形貌测试，具体是一种基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法，解决了现有测试技术无法对MEMS器件中深沟槽结构侧壁形貌进行测量的问题，以下列步骤实现：1)在待测侧壁表面进行阻止红外线透射的无损处理；2)以红外光源作为测量光源，红外光经透镜组调整为平行光束，经分光器件分成参考光束、检测光束，检测光束透射深沟槽结构的侧壁，经侧壁与无损处理的交界面反射后，与经参考镜面反射的参考光束相干迭加，形成干涉条纹图样；3)干涉条纹图样经光学透镜、CCD图像传感器传输至计算机，分析处理得所测侧壁的三维形貌图。本发明突破了现有测量技术无法实现深沟槽结构测量的缺点，应用领域广。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102944169B	2012-11-26	2012-11-26	一种同步偏振相移干涉仪失效专利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2	CN103292747B	2013-05-20	2013-05-20	一种测量FinFET器件侧墙表面粗糙度的方法及装置失效专利	北京大学
3	CN107796330A	2017-09-30	2017-09-30	一种白光干涉三维形貌测量光学系统有效专利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
4	CN103292747A	2013-05-20	2013-05-20	一种测量FinFET器件侧墙表面粗糙度的方法及装置失效专利	北京大学
5	CN101625231B	2009-04-14	2009-04-14	一种白光干涉光学轮廓仪失效专利	华中科技大学
6	CN102944169A	2012-11-26	2012-11-26	一种同步偏振相移干涉仪失效专利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
7	CN107796330B	2017-09-30	2017-09-30	一种白光干涉三维形貌测量光学系统有效专利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
8	CN105758329A	2014-12-18	2014-12-18	光学式表面轮廓扫描系统无效专利	财团法人金属工业研究发展中心
9	CN102538707B	2011-12-13	2011-12-13	一种对工件进行三维定位的装置及方法有效专利	中科中涵激光设备(福建)股份有限公司
10	CN102538707A	2011-12-13	2011-12-13	一种对工件进行三维定位的装置及方法有效专利	中科中涵激光设备(福建)股份有限公司
11	CN106370133A	2015-07-24	2015-07-24	一种湿态原位表征水凝胶微球表面形貌的方法有效专利	中国科学院大连化学物理研究所

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