光学式表面轮廓扫描系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201410790415.3
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2014-12-18
申请人：
财团法人金属工业研究发展中心

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光学式表面轮廓扫描系统
申请号	CN201410790415.3	申请日期	2014-12-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2016-07-13	公开/公告号	CN105758329A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	财团法人金属工业研究发展中心	申请人地址	中国台湾高雄市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	财团法人金属工业研究发展中心	当前权利人	财团法人金属工业研究发展中心
发明人	林原志;侯博勋
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	贾磊

摘要

本发明是关于一种光学式表面轮廓扫描系统，包含一光源装置、一干涉反射镜、一第一分光镜与一影像处理装置，该光源装置发出一检测光束，该第一分光镜将该检测光束同时投射到一待测物表面与该干涉反射镜而分别产生反射，该检测光束投射于该待测物的表面与该干涉反射面的反射在该第一分光镜中产生干涉后，该第一分光镜投射该待测物表面干涉影像给第一取像装置，该影像处理装置通过该第一取像装置接收该待测物表面干涉影像，并将该待测物表面干涉影像与一参考干涉影像相减而得到一差异影像，参照该差异影像以建立该待测物的表面轮廓。本发明以非接触方式进行待测物表面轮廓测量，自然不会刮伤待测物，且因不使用探针，自然不会有探针所衍生出的成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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