一种白光干涉光学轮廓仪

发明专利无效专利

申请号：
CN200910061658.2
IPC分类号：G01B11/24;G01B11/25
申请日期：
2009-04-14
申请人：
华中科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种白光干涉光学轮廓仪
申请号	CN200910061658.2	申请日期	2009-04-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-01-13	公开/公告号	CN101625231
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;2;5查看分类表>
申请人	华中科技大学	申请人地址	湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中科技大学	当前权利人	华中科技大学
发明人	王淑珍;常素萍;王生怀;谢铁邦;刘晓军
代理机构	华中科技大学专利中心	代理人	曹葆青

摘要

本发明公开了一种白光干涉光学轮廓仪，包括垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置、白光干涉位移传感器和万能工作台。白光干涉位移传感器固定在驱动及位移计量装置上，驱动及位移计量装置固定在立柱上，立柱固定在隔振台面上；万能工作台放置在隔振台面上；本发明的基于白光干涉和垂直扫扫描技术的大量程三维光学轮廓测量仪由伺服电机和压电陶瓷分别实现粗精二级驱动，带动白光干涉位移传感器做整体运动，在垂直位移中加入伺服电机可以扩大测量范围，垂直扫描由压电陶瓷驱动实现。宏微位移由同一套衍射光栅计量系统进行位移计量。该轮廓仪可以自动找干涉条纹，实现大量程、非接触测量平面和曲面的三维轮廓，具有测量精度高、测量量程大、成本低等特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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