具备真空容器的带电粒子线照射装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201280066028.4
IPC分类号：H01J37/305;H01J37/20
申请日期：
2012-12-25
申请人：
株式会社日立高新技术

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具备真空容器的带电粒子线照射装置
申请号	CN201280066028.4	申请日期	2012-12-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-09-10	公开/公告号	CN104040677A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/305 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/305 用于浇铸、熔化、蒸发或浸蚀的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;0;5;;;H;0;1;J;3;7;/;2;0查看分类表>
申请人	株式会社日立高新技术	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立高新技术	当前权利人	株式会社日立高新技术
发明人	金子朝子;高须久幸;武藤宏史
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	刘婷

摘要

本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。

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