板状工件上下平面的平面度及平行度检测装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200720069315.7
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/03;G01B11/30
申请日期：
2007-04-25
申请人：
上海大学

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专利名称	板状工件上下平面的平面度及平行度检测装置
申请号	CN200720069315.7	申请日期	2007-04-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;3;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	上海大学	申请人地址	上海市宝山区上大路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学	当前权利人	上海大学
发明人	李迎伟;李明;李伟
代理机构	上海上大专利事务所	代理人	何文欣

摘要

本实用新型涉及一种同时检测板状工件上下两平面的平面度及平行度的检测装置，装置包含一个底座，底座的一侧设置一横向移动机构，该横向移动机构上设置激光传感器垂直移动机构，所述横向移动机构上安装一光栅尺，同时，光栅尺的活动部件与激光传感器垂直移动机构固定连接；底座的另一侧安装一纵向滑台，滑台上安装工件检测平台，工作时，上下安装的两个激光传感器处于工件检测平台的上下方作横向运动。本装置结构简单、操作方便、测量速度快，测量精度高，适用于类似于射线防护板等生产行业对产品上下平面的平面度及平行度需精确检测的行业。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN105371776A	2015-12-09	2015-12-09	一种检测电焊电极头损坏程度的装置无效专利	上海电机学院
2	CN103822589A	2014-02-12	2014-02-12	厚度与平面度测试机失效专利	元虎虎
3	TWI485359B	2011-04-01	2011-04-01	鐳射平面度量測系統及方法失效专利	鴻海精密工業股份有限公司;HON HAI PRECISION INDUSTRY CO.; LTD.
4	CN102878939A	2012-10-22	2012-10-22	一种非接触式缝隙测量装置和方法失效专利	浙江大学
5	CN103292702A	2013-06-25	2013-06-25	一种硅棒几何尺寸测量仪失效专利	湖北工业大学
6	CN103292702B	2013-06-25	2013-06-25	一种硅棒几何尺寸测量仪失效专利	湖北工业大学
7	CN105241399A	2015-09-09	2015-09-09	一种精密定位平台动态平面度的测量方法有效专利	合肥芯碁微电子装备有限公司
8	CN104266614A	2014-09-03	2014-09-03	一种全自动平板平面度检测装置失效专利	上海大学
9	CN102878939B	2012-10-22	2012-10-22	一种非接触式缝隙测量方法失效专利	浙江大学
10	CN104266614B	2014-09-03	2014-09-03	一种全自动平板平面度检测装置失效专利	上海大学
11	CN105043307B	2015-08-06	2015-08-06	一种板件平整度检测治具有效专利	刘建华
12	CN105241399B	2015-09-09	2015-09-09	一种精密定位平台动态平面度的测量方法有效专利	合肥芯碁微电子装备有限公司
13	CN105043307A	2015-08-06	2015-08-06	一种板件平整度检测治具有效专利	苏州金牛精密机械有限公司
14	CN103363913B	2013-04-25	2013-04-25	工件检测设备有效专利	苏州方林科技股份有限公司
15	CN102538661A	2011-12-30	2011-12-30	一种快速检测型材平面度系统及其方法无效专利	深圳市龙霖科技发展有限公司
16	CN104034286A	2013-03-06	2013-03-06	钣金共面度检测设备有效专利	昆山富利瑞电子科技有限公司
17	CN103363913A	2013-04-25	2013-04-25	工件检测设备有效专利	苏州方林科技股份有限公司
18	CN105091802A	2015-09-09	2015-09-09	一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置有效专利	华中科技大学
19	CN103983218A	2014-03-26	2014-03-26	多激光平面度测量仪器无效专利	东莞市天勤仪器有限公司
20	CN101571550B	2009-06-08	2009-06-08	高真空环境下的三维移动机构失效专利	北京航空航天大学

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