一种硅棒几何尺寸测量仪

发明专利无效专利

申请号：
CN201310255528.9
IPC分类号：G01B11/00
申请日期：
2013-06-25
申请人：
湖北工业大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硅棒几何尺寸测量仪
申请号	CN201310255528.9	申请日期	2013-06-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-11	公开/公告号	CN103292702A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	湖北工业大学	申请人地址	湖北省武汉市武昌区南湖李家墩1村1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖北工业大学	当前权利人	湖北工业大学
发明人	汪威;汤亮;李晓敏;叶方平;袁雷华;龚承
代理机构	武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	鲁力

摘要

本发明涉及一种硅棒几何尺寸测量仪，包括固定框架、固定在固定框架上的标定块校准装置、竖装光耦、硅棒保护板升降装置、检测平台升降装置、工作台调整装置、工控机、开关盒、空气开关、显示装置、硅棒保护板组件、包含测量相机的检测平台组件以及放置硅棒的工作台组件；所述硅棒保护板组件和检测平台组件均能在各自升降装置的驱动下在重力方向作往复运动；硅棒能在工作台调整装置驱动下作横向、纵向以及周向旋转的运动。因此，本发明具有如下优点：1.利用机器视觉的方法对硅棒外形尺寸以及表面缺陷一次性测量，精度高，效率快，重复性好，对硅棒表面无任何潜在损伤；2.通过滑轮组的设计，实现用较小额定功率的电机驱动平台的移动，更加经济。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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