一种非接触式缝隙测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210405612.X
IPC分类号：G01B11/03;G01B11/26
申请日期：
2012-10-22
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种非接触式缝隙测量方法
申请号	CN201210405612.X	申请日期	2012-10-22
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2013-01-16	公开/公告号	CN102878939A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/03 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/03 通过测量各点的坐标〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;3;;;G;0;1;B;1;1;/;2;6查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	傅新;邵杰杰;陈文昱;施丽青
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林怀禹

摘要

本发明公开了一种非接触式缝隙测量装置和方法。该测量方法用于精确测量上部被测物体下表面与下部被测物体上表面所形成缝隙的三自由度参数。测量传感器以不共线三点的形式安装于上部被测物体，其测量方向均与上部被测物体下表面垂直，调整传感器的测量零点位置，使其均与上部被测物体下表面重合。测得三个上部被测物体下表面的激光出射点与下部被测物体上表面对应激光反射点之间的距离，经算法处理可得出上部被测物体下表面与下部被测物体上表面之间的三自由度参数。此测量方法既可用于浸没式光刻中对安装在运动平台上的浸没单元进行位姿测量调整，也可用于一般三自由度空间位姿测量的场合,对于狭小缝隙参数精确测量的场合尤为适用。

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