一种精密定位平台动态平面度的测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510570775.7
IPC分类号：G01B11/30
申请日期：
2015-09-09
申请人：
合肥芯碁微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种精密定位平台动态平面度的测量方法
申请号	CN201510570775.7	申请日期	2015-09-09
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2016-01-13	公开/公告号	CN105241399A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/30 用于计量表面的粗糙度和不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	合肥芯碁微电子装备有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥芯碁微电子装备股份有限公司	当前权利人	合肥芯碁微电子装备股份有限公司
发明人	陆敏婷
代理机构	合肥天明专利事务所（普通合伙）	代理人	娄岳;陈进

摘要

本发明提供一种精密定位平台动态平面度的测量方法，在所测精密定位平台上安装真空吸盘，在真空吸盘上吸附带有规则排列的定位标记的测试板，借助图像采集系统和自动聚焦系统，测量出不同位置下精密定位平台X轴和Y轴的动态平面度，并绘制成曲线。本发明适用于直写光刻技术或用到精密定位平台的其他技术领域，比传统的激光干涉仪测量成本低、易操作，本发明所述图像匹配和自动聚焦测量动态平面度的方法，测量精度高，误差为亚微米级别,可以有效评估精密定位平台的动态性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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