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一种全自动平板平面度检测装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410444708.6
  • IPC分类号:G01B11/30
  • 申请日期:
    2014-09-03
  • 申请人:
    上海大学
著录项信息
专利名称一种全自动平板平面度检测装置
申请号CN201410444708.6申请日期2014-09-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-01-07公开/公告号CN104266614A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/30IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人上海大学申请人地址
上海市宝山区上大路99号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海大学当前权利人上海大学
发明人谢燮;刘亮;封淼;陈浩;施华
代理机构上海上大专利事务所(普通合伙)代理人陆聪明
摘要
本发明提供一种用于全自动平板平面度检测装置,该测速装置包括一个测量部件和驱动部件,该测量部件包括光轴和反射镜安装座;该驱动部件包括步进电机、步进电机控制器、轴承座、轴承轴、同步带轮等。通过测量部件与驱动部件的分离,可以使测量光轴始终贴合在被测量面上,从而极大地提高了测量的可靠性和数据的独立性。本发明通过与光电自准直仪配合测量来读取所测数据,具有检测方便、快速、精确度高、通用性强等优点。

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