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金属硬掩膜刻蚀方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011499448.4
  • IPC分类号:H01L21/308;H01L21/3065
  • 申请日期:
    2020-12-17
  • 申请人:
    北京北方华创微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称金属硬掩膜刻蚀方法
申请号CN202011499448.4申请日期2020-12-17
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-04-20公开/公告号CN112687537A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/308
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人北京北方华创微电子装备有限公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人张宇;黄亚辉;贺小明;刘钊成
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人彭瑞欣;王婷
摘要
本发明实施例提供一种金属硬掩膜刻蚀方法,在基片表面由下而上依次形成金属硬掩模层和多个功能膜层,该金属硬掩膜刻蚀方法包括:由上而下依次对多个功能膜层和金属硬掩膜层进行刻蚀的多个刻蚀工艺;在对应多个功能膜层的刻蚀工艺中,有至少一个指定的刻蚀工艺采用的刻蚀气体包括氢元素和氟元素,且氢元素与氟元素在刻蚀气体中的含量的比值小于预设阈值,以减少氟化氢副产物的生成。本发明实施例提供的金属硬掩膜刻蚀方法,其可以减少氟化氢副产物的形成,从而可以减少因腔室内表面材料损耗而产生的颗粒。

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