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用于准确测量及映射大面积横向P-N结的正向及反向偏压电流对电压特性的设备及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480055915.0
  • IPC分类号:G01R19/00;H01L21/66
  • 申请日期:
    2014-09-03
  • 申请人:
    科磊股份有限公司
著录项信息
专利名称用于准确测量及映射大面积横向P-N结的正向及反向偏压电流对电压特性的设备及方法
申请号CN201480055915.0申请日期2014-09-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-05-25公开/公告号CN105612427A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R19/00IPC分类号G;0;1;R;1;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人科磊股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科磊股份有限公司当前权利人科磊股份有限公司
发明人I·S·G·凯利-摩根;V·N·法伊费尔;J·A·里尔;B·沙鲁克;R·尼费尼格
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人张世俊
摘要
本发明揭示用于提供p‑n结的测量并考虑到横向电流以改进准确度的方法及设备。可控制所述横向电流,从而允许减小或基本上消除电流散布。替代地或此外,可测量所述横向电流,从而允许通过补偿经测量散布来计算更准确的法向电流。此外,也可联合地实施用于控制所述横向电流的技术及用于测量所述横向电流的技术。

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