一种硅片盒清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921203660.4
IPC分类号：B08B9/22;B08B9/28;B08B3/12
申请日期：
2019-07-29
申请人：
徐州威聚电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种硅片盒清洗装置
申请号	CN201921203660.4	申请日期	2019-07-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B9/22 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B9/00 用专门的方法或设备清洁空心物品（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B9/08 清洗容器，如槽的清洗 B08B9/20 使用机器，容器如瓶子、罐被引入机器内或机器上〔5〕 B08B9/22 机器清洁工作仅用以浸渍的〔5〕	IPC分类号	B;0;8;B;9;/;2;2;;;B;0;8;B;9;/;2;8;;;B;0;8;B;3;/;1;2查看分类表>
申请人	徐州威聚电子材料有限公司	申请人地址	江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园29/30/33#标准厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州威聚电子材料有限公司	当前权利人	徐州威聚电子材料有限公司
发明人	李炜;王看看
代理机构	南京聚匠知识产权代理有限公司	代理人	宋艳

摘要

本实用新型公开了一种硅片盒清洗装置，包括清洗室、隔板、超声波换能器以及及控制系统，位于右腔室的隔板底部设置一驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过隔板、右腔室的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽，所述清洗槽位于右腔室内；所述清洗槽包括清洗槽体、溢流盘及卡固架，所述溢流盘的下盘面固定连接有转轴，所述转轴穿过清洗槽体的底部与驱动电机的输出轴活动连接，所述溢流盘的上盘面与卡固架的底部卡扣连接，所述卡固架用于稳固支撑硅片盒。本实用新型的清洗槽内设置的溢流盘随驱动电机转动，能使硅片盒在液体中流动清洗，清洗效率高，硅片盒可以再利用，降低硅片盒成本，提高经济效益。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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