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正型光阻组成物及切割道形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810710337.X
  • IPC分类号:G03F7/004;H01L21/782
  • 申请日期:
    2018-07-02
  • 申请人:
    新应材股份有限公司
著录项信息
专利名称正型光阻组成物及切割道形成方法
申请号CN201810710337.X申请日期2018-07-02
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2019-11-12公开/公告号CN110441988A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/004IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;7;8;2查看分类表>
申请人新应材股份有限公司申请人地址
中国台湾桃园市龙潭区三和村新和路455号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人新应材股份有限公司当前权利人新应材股份有限公司
发明人林晏右;钟明哲
代理机构珠海智专专利商标代理有限公司代理人段淑华;刘曾剑
摘要
一种正型光阻组成物,具有35wt%~55wt%的固形份、介于5~150cSt的黏度,适用于形成厚度介于6~20μm的涂布膜,所述正型光阻组成物包含:(A)碱可溶性的树脂成份;(B)萘醌二叠氮酯化物;以及(C)有机溶剂,包含:(C1)高挥发性溶剂;以及(C2)低挥发性溶剂,其中以乙酸丁酯的挥发速率为1,所述高挥发性溶剂具有挥发速率1.5~5.0,所述低挥发性溶剂具有挥发速率0.2~1.0。本发明还同时提供一种切割道形成方法。

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