一种透明遮罩及其制作方法、一种车载显示设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201910569157.9
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/115
申请日期：
2019-06-27
申请人：
信利光电股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种透明遮罩及其制作方法、一种车载显示设备
申请号	CN201910569157.9	申请日期	2019-06-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-23	公开/公告号	CN110158045A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;1;0;;;G;0;2;B;1;/;1;1;5查看分类表>
申请人	信利光电股份有限公司	申请人地址	广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信利光电股份有限公司	当前权利人	信利光电股份有限公司
发明人	刘正兵;段成兵;周伟杰
代理机构	深圳市深佳知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王仲凯

摘要

本申请公开了一种本申请所提供的透明遮罩的制作方法，通过在PMMA基材上通过磁控溅射技术设置二氧化硅过渡层，所述二氧化硅过渡层的沉积速率的范围为0.1纳米每秒至0.25纳米每秒，包括端点值；在所述二氧化硅过渡层表面垂直于所述二氧化硅过渡层延伸方向通过磁控溅射技术层叠设置多个减反单元层，得到所述透明遮罩；其中，每个所述减反单元层包括一层二氧化硅减反层及一层二氧化钛减反层，所述二氧化钛减反层位于靠近所述PMMA基材的一侧。本申请缩减了膜层的镀制周期，降低了镀制能耗；并使所述透明遮罩在进行后续处理时不会因为应力释放导致膜层微结构发生改变进面导致光学性能下降。本申请还同时提供了一种具有上述有益效果的透明遮罩及车载显示设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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