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一种用于TFT窑炉升温时法兰位移检测装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621246088.6
  • IPC分类号:G01B11/02
  • 申请日期:
    2016-11-17
  • 申请人:
    彩虹显示器件股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于TFT窑炉升温时法兰位移检测装置
申请号CN201621246088.6申请日期2016-11-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/02IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人彩虹显示器件股份有限公司申请人地址
陕西省咸阳市彩虹路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人彩虹显示器件股份有限公司当前权利人彩虹显示器件股份有限公司
发明人王庚;张涛
代理机构西安通大专利代理有限责任公司代理人徐文权
摘要
本实用新型公开了一种用于TFT窑炉升温时法兰位移检测装置,通过在窑炉法兰上的固定安装测量板以及测量板外侧固定激光位移测距仪,激光位移测距仪与测量板相对设置,激光位移测距仪连接有DCS控制器,通过激光位移测距仪与测量板间距测量,实现了对炉法兰膨胀大小的实时监测,激光位移测距仪经过仪器内部的数据处理模块将窑炉法兰的位移变化量通过DCS控制器显示,使膨胀调整工艺人员在线掌握窑炉膨胀的大小,及时进行膨胀调整,保证烤窑工作产的正常运行,本装置安装简单、测量准确、不易损坏、成本低、便于维护,使用寿命长的特点。

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