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一种在闪烁体上直接制作冷阴极平板X射线探测器的方法及其结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810973697.9
  • IPC分类号:H01L27/146;G01T1/20
  • 申请日期:
    2018-08-24
  • 申请人:
    中山大学
著录项信息
专利名称一种在闪烁体上直接制作冷阴极平板X射线探测器的方法及其结构
申请号CN201810973697.9申请日期2018-08-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-02-15公开/公告号CN109346488A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;G;0;1;T;1;/;2;0查看分类表>
申请人中山大学申请人地址
广东省广州市海珠区新港西路135号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中山大学当前权利人中山大学
发明人陈军;张志鹏;王凯;邓少芝;许宁生
代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司代理人林玉芳
摘要
本发明公开了一种在闪烁体上直接制作冷阴极平板X射线探测器的方法,包括以下工艺步骤:(1)在闪烁体上制备阳极电极;(2)在阳极电极上制备光电导体;(3)制备冷阴极基板;(4)将闪烁体制备有光电导体的一侧和冷阴极基板制备有冷阴极的一侧通过隔离体相互绝缘的固定在一起;(5)在闪烁体和冷阴极基板之间保持真空状态。本发明同时公开了一种由上述方法所制备的冷阴极平板X射线探测器。本发明中闪烁体既具备衬底支撑物的功能,又具备将X射线转换成可见光的功能,能有效避免光子的散射,解决了闪烁体在X射线探测器中集成的难题,并通过采用可寻址的冷阴极电子源,可实现X射线的成像功能。

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