用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手

发明专利无效专利

申请号：
CN201210059299.9
IPC分类号：C23F1/08;C30B33/10
申请日期：
2012-03-08
申请人：
昆山光微电子有限公司

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专利名称	用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手
申请号	CN201210059299.9	申请日期	2012-03-08
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-18	公开/公告号	CN103305845A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/08 装置，如照相印刷制版装置	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;3;0;B;3;3;/;1;0查看分类表>
申请人	昆山光微电子有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市周庄镇大桥路145号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山光微电子有限公司	当前权利人	昆山光微电子有限公司
发明人	李志刚;焦斌斌;刘瑞文;孔延梅;尚海平;卢狄克;陈大鹏
代理机构	昆山四方专利事务所	代理人	盛建德

摘要

本发明公开了一种用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手，包括支架、第一、二驱动机构、第一、二驱动控制器、导轨杆、丝杆、连杆和挑梁，丝杆和导轨杆分别竖直间隔设置，且导轨杆的两端固设于支架上；丝杆下端固设于第一驱动机构上，且第一驱动控制器能够控制该第一驱动机构带动丝杆做圆周运动；连杆水平设置，其外周与丝杆通过螺纹啮合连接，且其一端能够上下滑动定位于导轨杆内，其另一端固设于第二驱动机构上；挑梁一端固设于第二驱动机构上，另一端设有叉抓，第二驱动控制器能够控制第二驱动机构带动挑梁作圆周方向的往返运动。该用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手，可代替人工操作，以减少因手工操作不当带来的芯片破损、性能参数变差等问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN1103955A	1995-06-21	1994-11-07	光纤用多孔质母材制造装置失效专利	古河电气工业株式会社
2	CN201233901Y	暂无	2008-07-22	全自动太阳能硅片制绒清洗设备失效专利	上海科伟达超声波科技有限公司
3	CN101647746A	2010-02-17	2009-09-01	可实现按摩头组件位置平移的调整装置有效专利	漳州蒙发利实业有限公司
4	CN201999519U	暂无	2011-02-22	一种自动搬运工装篮的机械手装置失效专利	株洲宏大科技股份有限公司
5	CN202576566U	暂无	2012-03-08	用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手失效专利	昆山光微电子有限公司

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN104570854A	2014-12-18	2014-12-18	电路板腐蚀智能控制装置有效专利	南京工程学院
2	CN104570854B	2014-12-18	2014-12-18	电路板腐蚀智能控制装置有效专利	南京工程学院

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