先进工艺控制的方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010136008.2
IPC分类号：G05B19/04;H01L21/00
申请日期：
2010-03-12
申请人：
台湾积体电路制造股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	先进工艺控制的方法和装置
申请号	CN201010136008.2	申请日期	2010-03-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-09-22	公开/公告号	CN101840207A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/04 除数字控制外的程序控制，即顺序控制器或逻辑控制器（G05B 19/418优先；数字控制入G05B 19/18）	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	台湾积体电路制造股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	台湾积体电路制造股份有限公司	当前权利人	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人	蔡柏沣;曾衍迪
代理机构	北京德恒律师事务所	代理人	陆鑫;高雪琴

摘要

本发明提供一种先进工艺控制方法和装置，所述方法包括：将第一变数设定为初始值；将第二变数设定为初始值；在先进工艺控制的控制下，根据第一和第二变数的每一个的函数来操作工具；测量第一和第二参数，其中第一和第二参数是不同的，并且有关于工具的操作；根据第一参数的函数，决定第一变数的新变数值，并根据第二参数的函数与第二变数的目前变数值，计算第二变数的新变数值；以及重复上述操作、测量、决定和计算步骤。本发明的技术方案有益于改善先进工艺控制的效能，并减少先进工艺控制的多重输入间的干扰。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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