集成干涉仪

1．一种集成在光学芯片上的干涉仪，该光学芯片包括通过绝缘 材料层与基质分开的硅层，光学芯片具有：用于把光学芯片连接到一 个或多个光纤上的光纤连接装置，该光纤连接装置包括形成在基质上 的沟槽，用于放置光纤；波导装置，用于向光纤连接装置或从光纤连 接装置传输光，波导装置包括一个或多个形成在所述硅层内的肋状波 导；和至少一个相位调制器，用于改变沿着芯片上的肋状波导传输的 光的相位，该结构是这样的，即形成干涉仪，其中沿着不同光路传播 的光可以组合，而且至少一个光路的有效光路长度可以通过相位调制 器改变。
2．如权利要求1所述的干涉仪，其中光源和/或光检测器也集成 在光学芯片上。
3．如权利要求2所述的干涉仪，其中光源和/或检测器安装在形 成于芯片上的定位沟槽内，所述定位沟槽至少具有两个非平行的定位 表面，所述光源和/或光检测器的相应表面支撑在所述的至少两个非 平行的定位表面上，以便把光源和/或光检测器与芯片上的波导对 准。
4．如权利要求1、2或3所述的干涉仪，其中所述的相位调制器 是跨越肋状波导形成的掺杂结形式。
5．如前述权利要求中任意一项所述的干涉仪，其中所述的相位 调制器是热调制器。
6．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，设置成Mach- Zehnder干涉仪。
7．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，设置成处理从通 过光纤连接的远距离传感装置接收的信号。
8．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，设置成处理干涉 仪，用于处理从传感干涉仪接收的信号或发送至传感干涉仪的信号。
9．如权利要求7或8所述的干涉仪，其中所述的传感装置或传 感干涉仪设置成传感参量，该参量的变化产生或能够变换成光程差的 变化。
10．如权利要求8或9所述的干涉仪，其中所述的传感干涉仪是 Fabry-Perot类型的腔。
11．如权利要求10所述的干涉仪，其中所述的Fabry-Perot类 型的腔设置成测量压力。
12．如权利要求11所述的干涉仪，其中所述的Fabry-Perot类 型的腔设置成测量内燃机的汽缸中的压力。
13．如权利要求7所述的干涉仪，其中所述的传感装置包括Bragg 光栅结构。
14．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，连接到用于处理 其输出的电处理装置上。
15．如权利要求14所述的干涉仪，其中所述的处理装置设置成 利用相位锁定技术，以便把传感到的信号之间的相位差锁定为选择的 值。
16．如权利要求14或15所述的干涉仪，其中所述的处理装置设 置成利用由干涉仪产生的双相输出信号。
17．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，连接到白光光源 上。
18．如权利要求9或17所述的干涉仪，其中所述的光程差大于 白光光源的相干长度。
19．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，包括两个设置成 工作在伪推拉状态的相位调制器。
20．如前述权利要求中任意一个所述的干涉仪，其中多个传感装 置多路复用。
21．一种集成干涉仪，实质上如同前面参考附图所描述的那样。

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