光纤干涉式厚度测量装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200410091869.8
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2004-12-25
申请人：
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

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著录项信息

专利名称	光纤干涉式厚度测量装置
申请号	CN200410091869.8	申请日期	2004-12-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-07-05	公开/公告号	CN1796929
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司	当前权利人	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
发明人	林志泉
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种光纤干涉式厚度测量装置，其包括一测量光源、一光耦合器、一第一光纤、一第二光纤、一电光调制器、一光感知器，一信号处理器和一正弦信号产生器，其中，该测量光源连接至光耦合器，该光耦合器分别连接该两光纤的输入端，该电光调制器设置在该两光纤之一上，且该电光调制器与该正弦信号产生器连接，该光感知器连接至该光耦合器，并将包含厚度量测信息的干涉光信号转变成包含厚度量测信息的电信号输出至信号处理器。该信号处理器包括一ω频率滤波电路、一2ω频率滤波电路及与该两个滤波电路连接的一比较放大器。相较于现有技术，本发明结构简单，且信号分辨率高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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