一种便于清理的半导体镀膜设备

发明专利无效专利

申请号：
CN202110815885.0
IPC分类号：H01J37/32;C23C14/50;C23C14/24
申请日期：
2021-07-19
申请人：
杭州很美网络科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种便于清理的半导体镀膜设备
申请号	CN202110815885.0	申请日期	2021-07-19
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-26	公开/公告号	CN113707531A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	杭州很美网络科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市滨江区滨安路1197号2幢343室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州很美网络科技有限公司	当前权利人	杭州很美网络科技有限公司
发明人	汪乐
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备，涉及半导体镀膜领域，包括主处理箱，所述主处理箱的底面固定粘接有底垫块，所述主处理箱的一侧边水平开设有抽屉槽，所述抽屉槽的内侧边插接有储料箱体，所述主处理箱的一侧边镶嵌有控制面板，所述主处理箱的两侧边对称螺栓连接有固定侧板，所述固定侧板之间侧边对接有活动外罩，所述主处理箱的顶面水平对接有密封顶板，所述密封顶板的顶面螺栓连接有提拉把手，所述主处理箱的两侧边对称开设有拨动槽，所述拨动槽的内侧边卡接有拨动块。本发明装置设计一体化结构简单操作方便，在采用了翻滚式的镀膜方式使得膜料附着更加的均匀高效，同时卡扣式的连接方式使得便于拆卸下后进行直接性清洗处理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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