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修正探针卡及卡盘板间的平行性的装置及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880130761.1
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2008-11-03
  • 申请人:
    赛米克斯股份有限公司
著录项信息
专利名称修正探针卡及卡盘板间的平行性的装置及方法
申请号CN200880130761.1申请日期2008-11-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-07-13公开/公告号CN102124552A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人赛米克斯股份有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人赛米克斯股份有限公司当前权利人赛米克斯股份有限公司
发明人全旭一
代理机构北京市浩天知识产权代理事务所代理人刘云贵;韩龙
摘要
本发明提供一种用来修正晶片探测器的探针卡及卡盘板间的平行性装置及方法。在该方法中,测量该探针卡的倾斜。标识对应该已测得的倾斜在基座及该卡盘板间的间距的复数段位移信息,是相对该基座及该卡盘板间的多个第一位置产生。分别驱动安装在该基座及该卡盘板间的第二位置处的多个致动器,以便使该基座及该卡盘板以不同角度变得彼此远离或变得彼此靠近,直到所感测的位移信息的片段追踪该的位移信息片段,该所感测的位移信息的片段是由安装在该基座及该卡盘板间的第一预设位置处的多个位移传感器输出。

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