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自动化显微取像设备及取像方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510436028.4
  • IPC分类号:G01N21/84
  • 申请日期:
    2015-07-23
  • 申请人:
    旭东机械工业股份有限公司
著录项信息
专利名称自动化显微取像设备及取像方法
申请号CN201510436028.4申请日期2015-07-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-02-01公开/公告号CN106370656A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/84IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;8;4查看分类表>
申请人旭东机械工业股份有限公司申请人地址
中国台湾台中市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旭东机械工业股份有限公司当前权利人旭东机械工业股份有限公司
发明人李长浩
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人李景辉
摘要
本发明是关于一种自动化显微取像设备及取像方法,用于对一基板的至少一取像区进行取像。该设备包括一旋转导正模组及一线性扫描取像装置。该旋转导正模组用以对该基板旋转而导正至一取像起始位置。该线性扫描取像装置用以在该基板位于该取像起始位置时执行线性扫描取像,以撷取该基板的取像区的图像。

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