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半导体器件及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680052148.3
  • IPC分类号:H01L49/02;H01L27/10
  • 申请日期:
    2006-02-09
  • 申请人:
    株式会社日立制作所
著录项信息
专利名称半导体器件及其制造方法
申请号CN200680052148.3申请日期2006-02-09
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-12-31公开/公告号CN101336490
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L49/02IPC分类号H;0;1;L;4;9;/;0;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0查看分类表>
申请人株式会社日立制作所申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社日立制作所当前权利人株式会社日立制作所
发明人寺尾元康;黑土健三;竹村理一郎;高浦则克;半泽悟
代理机构北京市金杜律师事务所代理人王茂华
摘要
一种半导体器件,在嵌入了塞(35)的绝缘膜(31)上按顺序形成有由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)、由硫属化合物构成的固体电解质区域(46)和上部电极(47)。由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)由圆顶状的电极部分(43)和将电极部分(43)的周围嵌入的绝缘膜(44)构成,在塞(35)上存在着至少1个电极部分(43)。电极部分(43)包括由如氧化钽那样的即使施加电场也仍然稳定的第一组成物构成的第一部分和由如铜或银那样的通过施加电场很容易向固体电解质区域(46)扩散并移动的第二组成物构成的第二部分。通过使从电极部分(43)供给的第二组成物在固体电解质区域(46)中移动来存储信息。

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